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접 수 일 1998.03.19 1998.04.29 1998.06.15 1998.10.14
발 명 명 칭
듀얼 알.에프전력을 갖는 반응성 이온 식각장치를 이용한 백금막식각방법
반도체장치의 백금막 식각방법
마스크 디멘션 변경에 의한 백금 식각방법
금속막으로 구성된 게이트전극을 갖는 모스트렌지스터
발 명 자
김현우,89700947:문주태,89722747:강창진
김현우,89700947:주병선,96041553
김현우,89700947:안태혁,93766928
김현우,89700947:강창진,93766928
진 행 상 태 006,출원 006,출원 006,출원 006,출원
출 원 일 1998.04.21 1998.06.15 1998.10.13 1998.12.24
해외 출원여부
해외출원후 P등급으로 등급조정


접 수 일 1996.08.26 1996.09.10 1996.10.16 1996.10.28
발 명 명 칭
캐패시터의 스토리지전극형성방법
비휘발성식각 부산물의 처리방법
반응성 이온식각 장치
반도체 장치의 케패시터제조방법
발 명 자
김현우,89700947
김현우,89700947:유원종,83760419
김현우,89700947:남병윤,89723308
김현우,89700947:남병윤,89723308
진 행 상 태 006,출원 917,등록 006,출원 006,출원
출 원 일 1996.11.22 1996.11.30 1996.12.28 1996.12.18
해외 출원여부




접 수 일 1996.12.12 1996.12.12 1997.04.28 1998.03.19
발 명 명 칭
캐패시터의 스토리지전극 형성방법
반도체장치의 케패시터 제조방법
반도체 장치의 백금막 식각방법
백금족금속막 식각방법 및 이를 이용한 케패시터의 하부~
발 명 자
김현우,89700947:김명철,95100473
김현우,89700947
김현우,89700947:남병윤,89723308:유원종
주병선,96041553:김현우,89700947:문주태
진 행 상 태 006,출원 917,등록 917,등록(미국,대만등록 .독일,중국,일본은 출원) 109,1차의견제출
출 원 일 1997.01.28 1997.02.19 1997.06.09 1998.05.28
해외 출원여부 Y Y




접 수 일 1998.03.19 1998.04.29 1998.06.15 1998.10.14
발 명 명 칭
듀얼 알.에프전력을 갖는 반응성 이온 식각장치를 이용한 백금막식각방법
반도체장치의 백금막 식각방법
마스크 디멘션 변경에 의한 백금 식각방법
금속막으로 구성된 게이트전극을 갖는 모스트렌지스터
발 명 자
김현우,89700947:문주태,89722747:강창진
김현우,89700947:주병선,96041553
김현우,89700947:안태혁,93766928
김현우,89700947:강창진,93766928
진 행 상 태 006,출원 006,출원 006,출원 006,출원
출 원 일 1998.04.21 1998.06.15 1998.10.13 1998.12.24
해외 출원여부 해외출원후 P등급으로 등급조정




접 수 일 1998.10.27 1999.04.28 1999.04.28 1999.06.28
발 명 명 칭
반도체소자의 루테늄전극형성방법
하드마스크를 이용한 반도체 소자의 콘텍홀형성방법
자기정렬 콘택을 구비하는 반도체장치 및 그 제조방법
하드마스크를 이용한 자기정렬 콘택의 콘택홀형성방법
발 명 자
주병선,96041553:김현우,89700947:한재현
김현우,89700947:안태혁,84719846:전정식
김지수,98406509:김현우,89700947:정상섭
김현우,89700947:안태혁,84719846:정상섭
진 행 상 태 006,출원 006,출원 006,출원 006,출원
출 원 일 1998.12.09 1999.07.07 1999.07.10 1999.10.06
해외 출원여부




접 수 일 1999.09.15 2000.04.12
발 명 명 칭
반도체소자의 셀프얼라인 콘택식각 방법
반도체 소자의 텅스텐 메탈 게이트 라인 형성방법
발 명 자
김지수,98406509:안태혁,84719846:김현우
김현우,89700947:강창진,93766928
진 행 상 태 006,출원 006,출원
출 원 일 2000.04.12 2000.04.12
해외 출원여부